Dagiti espesipiko nga aplikasion dagiti plasma cleaner .

Dagiti makina a pangdalus/ag-etching iti plasma ket mangpataud iti plasma babaen ti panangikabil iti dua nga elektrodo iti naselioan a pagkargaan tapno makaaramid iti elektrikal a tay-ak. Mausar ti vacuum pump tapno mataginayon ti maysa a partikular a vacuum level. Bayat nga ad-adda a manmano ti gas, umad-adu met ti distansia ti nagbaetan dagiti molekula ken ti nawaya a panaggaraw dagiti molekula wenno ion. Iti sidong ti impluensia ti elektrikal a tay-ak, dagitoy nga ion ket agdinnungpar ken mangporma ti plasma. Dagitoy nga ion ket nangato a reaktibo, nga addaan iti umdas nga enerhia a mangburak kadagiti gangani amin a kemikal a singgalut, a mangtignay kadagiti kemikal a reaksion iti ania man a naibutaktak a rabaw. Nadumaduma ti plasma ti gas nga addaan iti nadumaduma a kemikal a tagikua. Kas pagarigan, ti plasma ti oksihena ket nangato ti panag-oksidana, a makabael a mang-oksida iti photoresist tapno mangpataud iti gas, iti kasta maragpat ti epekto ti panagdalus. Ti makadadael a gas a plasma ket addaan iti nagsayaat nga anisotropia, a makasangpet kadagiti kasapulan ti panag-etching. Ti panangagas iti plasma ket mangpataud iti silnag, isu a ti nagan a glow discharge.
Ti mekanismo ti panagdalus ti plasma ket agpannuray a nangruna iti "panagpaaktibo" kadagiti aktibo a partikula iti plasma tapno maikkat dagiti mantsa ti rabaw. Iti termino ti mekanismo ti reaksion, ti panagdalus ti plasma ket sapasap a mairaman ti sumaganad a proseso: dagiti inorganiko a gas ket magagaran iti maysa a kasasaad ti plasma; Dagiti gaseoso a substansia ket ma-adsorb iti solido a rabaw; Dagiti naadsorbo a grupo ket makireaksion kadagiti molekula iti solido a rabaw tapno mangporma kadagiti molekula ti produkto; Dagiti molekula ti produkto ket agrupsa iti paset ti gas; ken dagiti nabati a reaksion ket maikkat manipud iti rabaw.

Ti kapapatgan a tampok ti teknolohia ti panagdalus ti plasma ket daytoy ket mabalinna a tratuen ti ania man a kita ti substrato, a mairaman dagiti metal, semikonduktor, oksido, ken kaaduan a polimero a materiales a kas ti polipropileno, poliester, poliimida, polyvinyl chloride, epoxy, ken uray pay ti polytetrafluoroethylene. Mabalin a dalusanna agpadpada ti intero a rabaw ken dagiti espesipiko a lugar, kasta met dagiti narikut nga estruktura.