Plasma etther ti bileg demystified .

Dagiti Pangrugian ti Bileg ti Plasma Etther .
Ti bileg ti plasma etcher ket kasla ti accelerator ti kotse, a direkta a mangikeddeng iti kapartak ken kauneg ti etching. No nangatngato ti bileg, dakdakkel ti plasma density ken naparpartak ti etching rate. Nupay kasta, saan a kanayon a nasaysayaat ti nangatngato a pannakabalin; Masapul a mabaliwan dayta maibatay kadagiti kasapulan iti material ken proseso.

Nababa a bileg (100-300W): Maibagay para iti pino a panag-etching ken mangkissay iti pannakadadael ti material.

Kalalainganna a Bileg (300-600W): balanse ti etch rate ken panagpili.

Nangato a Bileg (600W ken nangatngato): Mausar para iti napartak a pannakaikkat ti dakkel a kaadu ti material.

Ti epekto ti bileg kadagiti resulta ti panag-etching .

Dagiti babassit a panagbalbaliw ti bileg ket mabalin nga agtungpal kadagiti dakkel a panagdumaduma kadagiti resulta ti panagkitikit:

Etching rate: Tunggal 100W a panagngato ti bileg ket mangpaadu ti rate iti agarup a 15-20%.

Panagpili: Ti nalabes a bileg ket mabalin a mangkissay iti pannakasalaknib ti maskara.

Panagpapada: Ti panagbalbaliw ti bileg ket mabalin nga agtungpal iti di agtutunos a kauneg ti panagkitikit.

Byproducts: Ti bileg apektaranna ti chemistry ti plasma, a mangbalbaliw kadagiti kita ti produkto.

Dagiti kangrunaan a banag iti panag-optimisar ti bileg .

Tapno magun-od dagiti kasayaatan a resulta ti panag-etch, dagiti sumaganad a banag ket masapul a maikonsiderar:

Tipo ti gas: Dagiti nadumaduma a gas ket agkasapulan ti espesipiko a sakop ti bileg.

Presion ti Kamara: Dagiti panagbalbaliw ti presion ket kasapulan dagiti maitunos a panagbalbaliw ti bileg.

Temperatura ti Substrate: Mabalin a mapabassit ti bileg bayat nga agpangato ti temperatura.

Electrode spacing: No basbassit ti panagsisina, nababbaba ti kasapulan a bileg.